K-001 WEEランプ(I線)
HSU200AB
K-005 WEEランプ(G線)
HSU200YA
K-008 I/F Z DRIVER
MSD011A1XX
1380-101456-12
K-009 MOTOR DRIVER
MSD011A1XX17
1380-002667-11
K-010 AC SERVO DRIVER
MSD011A1XX11
K-011 AC SERVO DRIVER
MSD011A1XX10
K-012 AC SERVO DRIVER
MSD5A1A1X
K-013 I/F Y DRIVER
MSD011A1XX21
1380-103198-11
K-014 C/S Z DRIVER
MSD5A1A1XX21
1380-103189-11
K-015 アームハンド
PINCETTE 6"(I/A)
1310-290834-13
K-021 アームハンド
PINCETTE 6"(C/A)
1310-290833-13
K-025 SCHハンド(セラミック)
K-026 アームハンド PINCETTE 8"
K-027 BOARD..SSMC-8A
381-639383-2
K-028 AC SERVO DRIVER
CONTROL BOARD
381-639178-3
K-030 BOARD..SMC-C85A
381-639006-4
K-031 C/S ARM CON
BOARD ASSY
381-639040-4
K-032 M/C KEY I/F BOARD
381-539103-2
K-033 DC BL MOTOR CONTROL
LC5AO13002
K-034 AC SERBO DRIVER
DV467TA
1987-411593-13
K-040～K-042 LMガイド
K-043 ガス捕集ポンプ
K9608HE/K9603HL
K-044 Fiber Optics
LGS1F687UVD511
K-045 BOARD..X.θ-BASE3
1380-103172-11
K-049 GUIDE R(6"-C/A)
1910-318289-14
K-050 GUIDE (6"-C/A)
1910-318288-14
K-051 DRIVER
IF-D-03-0 PMM-BD-5702-4
1380-100556-11
K-052 MarkⅤ
SP DRIVER BASE(M)
1910-322348-12
K-053 WEIGHT SENSOR
TTS-050-L200-B
1380-001152-11
K-054 VZ C/S Y-X
FLAT CABLE(SL-LONG)
1986-404948-11
K-056 FLAT CABLE CN-Z
(T210-08310-0)
1380-101143-11
K-057 FLAT CABLE Z-X
(T210-08311-0)
1380-101144-11
K-058 FLAT CABLE Z-X
(T210-08311-0)
1380-101144-11
K-059 FLAT CABLE Z-X
(T210-08311-0)
1380-101144-11