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拡散

◆ TS-4000Z PANEL Assy
　 TS-4000Z PANEL, IW-4000, IW-3200, TW-3100, 他


◆ TS-4000Z MAIN CTRL
　Ｐ基板, Ｍ基板, Ｔ基板, Ｓ基板, GAS基板, T/B基板, 電源


◆ 温度コントローラー
　 MODEL120シリーズ（※履歴が必要です）
　 M-120, M-120-01, M-120PHASE, M-121, M-340,M-340 CX,M-560,他
　 M-300（在庫有）　M-300をM-301A（最新型）に改造可。


◆ 基板
　 DDC-9900, DDC-5000,MC-12700（在庫）
　 BG6-0295, BG6-0296, BG9-0395, BG9-0040, BG9-0395, BG-0406
　 BG9-3501, BG9-3793, BG9-8868,CP-8400
　 GAS I/L  2108-020028-11, 2181-020028-11, 2181-020028-19
　 MC-31007, MC-31007A, MC-31008, MC-31008B, MC-31009A, MC-31026
　 MC-31041A, MC-31050, MC-31151
　 SECU-004, SECU-104, SG-2700, SG-2700B  他多数

フォト・リソ

◆ サーモコンユニット（SMC）
　 INR-244-110B、INR-244-110E、INR-244-111A、INR-244-111B、INR-244-111C、
　 INR-244-111D、INR-244-112A、INR-244-112B、INR-244-112C、INR-244-112D、
　 INR-244-112F、INR-244-113B、INR-244-117B、INR-244-117C、INR-244-166A、
　 INR-244-200A、INR-244-201A、INR-244-203-B、INR-244-215A、 INR-244-215B、
　 INR-244-217A、INR-244-218D、 INR-244-264、INR-244-264A、INR-244-402、
　 INR-244-404、INR-244-412 他


◆ 恒温水ユニット（KOMATSU）
　 KCE-53WS-A、KCE-53WS-B、MCE-52W、 MCE-52WA、MCE-52WB、MCE-51W、他
　　※FR-531、FR-521、FR-511の コントローラー対応可

◆ その他

ロボットUTC-100UTC-100A
UTC-100PUTC-200WP
UTC-800PUTC-800PZ
CTRL1015DSCP-800SG
CX3001AETS101N / ETS101-DR
GP-230-LG11-HTGP-230-LG11-E
LAW-614-ARE-48
12ZE-10 RA-SC1EI-203
YAPC-100-2.5PC-9201
ティーチングペンダントーー
薬液切替CTRLーー
サーボアンプAU3585IV222AU3585N222
サーボドライバーDBCP10CA52CDBDV461T
DV468TC
サーボモーターMSD021A1XMSD021P1E
MSD041A1XX14MSD5A1A1X
MSM012P1FMSM021P1E
MSM022P1E
電源POWER-1000PRF-125C
SPM5A1B1D1B4C4SPM5D2A6D6K
1515DFOF07P-AC00E
FPF0P-AC100 FJ96SUA1000RM2U
ディスプレイFPF8050HFUGAFPF8060HRUK
FP-VGA 260S-CEFP-VGA 260S-CE2
パネルCESP-0012CESP-0013
CESP-0015CESP-0016
FPF4020NRCF
モニターAV4833N02MCT-110A
MCT-110T
モータードライバーUDX5107-G4-2UDX5107N
UDX5114UDX5114-G3-2
UDX5114NUDX5114VN
UDX5128NUP15DI
UP-30
ドライバーMSD3AZA1Y04
SCANNING MONOCHROMATOR01-1104-1501-1104-20
超音波発生器N1000C-XHSSA-120-560/14N1001-XHSB1-120-600/14
ヒーターコントロールユニットCEHC-0011CEHC-0018
ファクトリーコンピュータFC-9801F
FDDFD-05HGSFD-235HG
圧力計MTG-87
電離真空計9710
表示ユニット/ELT-H-E(CEMP-0011)ELT-H-E(CEMP-0016)
ELT-HL-B

修理・改造例

◆ TS-4000Z/CTL OVERHAUL（メーカー未対応） 　
　 電解コンデンサを高品質（特注品）に全交換しております。
　 欠落あるPAL・GALは再度インストールしています。


バックアップ電源を別にすることにより交換作業が楽になります。（お客様ご指定の場合）


T/B MC-31039は電解液漏れ等ありましたらボード交換または中古良品に交換します。
（ケミカル材の残流により断線復旧しなかった事例有）


各Rev. MC-31050, MC-31051, MC-31030共、OVERHAUL対応。


旧型PLASMA DISPLAY。
部分「チラツキ」がありましたら早めにご相談下さい。
新型（民生品）より延命化できます。


PLASMA DISPLAY。　全面表示による部分欠落の確認。


テスト表示による安定度及び出力調整。


各交換後のエージングは、約6Ｈ～12Ｈ以上で行い出荷しています。
写真のCTRLは3年間で2回のトラブルがあったTS-4000Zですが、
現在は5年以上マイナートラブル等発生していません。

ご依頼につきまして

各社半導体製造装置のユニットは、メーカー保証対象外が多く修理不可能な状態が
増えているようです。特にメーカー使用の部品につきましても入手困難品も多く、
修理不可となる場合も少なくありません。
当社は顧客満足度を一番に考え、不良箇所の調査、修理、予防交換、O/Hを含めた
質の高いレベルの技術をお客様へ提供し、常に修理完了を目指しております。

◇ 費用対効果について

　 当社は「調査修理」を行なうことで、納期・修理コストの費用対効果を提供致します。
　 調査と修理を同時にすすめる事により、納期短縮及び費用を抑えることが可能となります。
　 基本として新品購入の半額を目標にご提示しております。

◇ お見積について

　お預かりする製品の殆どは精密機械の為、分解したうえで細部まで拝見しなければ
　不具合箇所の特定、 修理可不可及び費用等の回答は困難です。
　当社は調査後のご提示になりますことをご了承頂きご依頼下さい。

・ 作業工数、部品代の実費での料金が発生致します。
　 調査基本料（概算） ： ￥20,000～50,000- （状態により料金が異なります）

・ 事前見積価格をご希望の場合、実績品は参考価格、初見品は上限価格にての
　概算提示となります。 限度額をお知らせ下さいますと助かります。

◇ 調査（修理）～見積書提出 概要

① 調査
・ 情報収集 ご使用環境、装置情報、資料等のご協力を依頼することがございます。
・ 内部を拝見し、各基板及び搭載部品の良否確認
・ 部品入手可不可の確認調査
・ 現象確認、不具合箇所を確定 実機上確認、部品交換を行うことがございます。
・ 修理可不可を判定 ※状態によって作業内容の変更があります。

② 見積提出
【修理可】調査修理費として提示 調査費・修理費・検査費・常備部品費・
　　　　　清掃費・梱包料・送料・梱包手数料・事務費
【修理不可・キャンセル・調査のみ】調査費として提示 調査費・部品代・送料・梱包手数料