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管理番号 | 品名 | 型式 | メーカー |
H-001 | 基板 | MC-31007A(PM081302-0B) | TEL |
H-002 | 基板 | MC-31007A(PM081302-0B) | TEL |
H-005 | 基板 | MC-31008B(PM081301-0C) | TEL |
H-009 | 基板 | MC-31009A(PM081300-0B) | TEL |
H-011 | 基板 | MC-31009A(PM081300-0B) | TEL |
H-012 | 基板 | MC-31009A(PM081300-0B) | TEL |
H-013 | 基板 | MC-31028(PM081319-0A) | TEL |
H-014 | 基板 | SG-2610B | TEL |
H-015 | 基板 | SG-2610B | TEL |
H-017 | 基板 | SG-2610B-B | TEL |
H-020 | 基板 | SG-2610B | TEL |
H-022 | 基板 | SG-2610B-B | TEL |
H-024 | 基板 | SG-2700B | TEL |
H-025 | 基板 | DC-212A,T | TEL |
H-026 | 基板 | DC-212A,T | TEL |
H-028 | 基板 | DC-212A,T | TEL |
H-029 | 基板 | DC-212A,T | TEL |
H-030 | 基板 | DC214,H3 | TEL |
H-031 | 基板 | BBB-04A | TEL |
H-033 | 基板 | BBB-06A | TEL |
H-034 | 基板 | BBB-80 | TEL |
H-036 | 基板 | CP-8130 | TEL |
H-037 | 基板 | CP-8320C | TEL |
H-038 | 基板 | CP-8320C | TEL |
H-039 | 基板 | CP8321A | TEL |
H-040 | 基板 | CP-8400 | TEL |
H-042 | 基板 | ASSY NO 481-501621-2 PCB NO 408-501621-2 | TEL |
H-044 | 基板 | MBMY-001A | TEL |
H-045 | Assy | MK302483-0A | TEL |
H-047 | PC | AVAL-TM20 | TEL |
H-049 | コントローラー | MODEL-120 | TEL |
H-050 | コントローラー | MODEL-120 CTL | TEL |
H-051 | コントローラー | MODEL 3200 | TEL |
管理番号 | 品名 | 型式 | メーカー |
K-001 | ランプ | HSU200AB | 岩崎 |
K-005 | ランプ | HSU200YA | 岩崎 |
K-008 | AC SERVO DRIVER (I/F Z DRIVER..) | MSD011A1×× | Panasonic |
K-009 | AC SERVO DRIVER (MOTOR DRIVER..) | MSD011A1××17 | Panasonic |
K-010 | AC SERVO DRIVER | MSD011A1××11 | Panasonic |
K-011 | AC SERVO DRIVER | MSD011A1××10 | Panasonic |
K-013 | AC SERVO DRIVER (I/F Y DRIVER..) | MSD011A1××21 | Panasonic |
K-014 | AC SERVO DRIVER (C/S Z DRIVER..) | MSD5A1A1××21 | Panasonic |
K-021 | PINCETTE 6"(C/A) | 1310-290833-13 | アスザック |
K-025 | PK・PE SCHハンド | ***** | アスザック |
K-026 | PINCETTE 8" | ***** | アキタ理研 |
K-027 | 基板 | SSMC-8A | TEL |
K-028 | AC SERVO MOTOR CONTROL BOARD | COAT1 SVM-CONT | TEL |
K-030 | 基板 | SMC-C85A | TEL |
K-031 | C/S ARM CON BOARD ASSY | 381-639040-4 | TEL |
K-032 | M/C KEY I/F BOARD | 308-539103-2 | TEL |
K-033 | DC BL MOTOR CONTROL | LC5AO13002 | TEL |
K-034 | AC SERBO DRIVER | DV467TA | Panasonic |
K-035 | DC POWER BOX | DCPOW-01 | TEL |
K-036 | THERMO-CON | INR-244-201B | SMC |
K-037 | THERMO-CON | INR-244-101B | SMC |
K-038 | THERMO-CON | INR-244-201B | SMC |
K-040 | LM GUIDE | RSR15VMUU+670LM | THK |
K-041 | LM GUIDE | SR25W2+179LYTF-1 | THK |
K-042 | LM GUIDE | SR15W1UUFME+700LF | THK |
K-043 | ガス捕集ポンプ | K9608HE/K9603HL | YOKOGAWA |
K-044 | Fiber Optics | LGS1F687UVD511 | HOYA-SCHOTT |
K-045 | 基板 | X.θ-BASE3 | TAIYO |
K-046 | MOTOR DRIVER | PMM-BD-5702-4 | TEL |
K-048 | THERMO-CON | INR-244-97B-B | SMC |
K-049 | GUIDE R(6" -C/A) | 1910-318289-14 | TEL |
K-050 | GUIDE(6" -C/A) | 1910-318288-14 | TEL |
K-051 | IF-D-03-0 ドライバー | PMM-BD-5702-4 | SANYO DENKI |
K-052 | Mark Ⅴ. SPドライバーベース(M | 1910-322348-12 | TEL |
K-053 | WEIGHT SENSOR | 1380-001152-11 | TEL |
K-054 | VZC/SY-X FLAT CABLE(S | 1986-404948-11 | TEL |
K-056 | フラットケーブル CN-Z | T210-08310-0 | TEL |
K-057 | フラットケーブル Z-X | T210-08311-0 | TEL |
K-058 | フラットケーブル Z-X | T210-08311-0 | TEL |
K-059 | フラットケーブル Z-X | T210-08311-0 | TEL |
K-060 | CAPスクリュ | M4*6 SUS304 | TEL |
K-061 | CAPスクリュ | M3*6 SUS304 | TEL |
K-062 | ハイステツカ | T-600 | TEL |
K-063 | バネW | M4 SUS304 | TEL |
K-064 | CAPスクリュ | M5*8 SUS304 | TEL |
K-065 | CAPスクリュ | M4*10 SUS30 | TEL |
K-066 | バネW | M5 SUS | TEL |
K-067 | ヒラW | M4 SUS304 | TEL |
K-068 | スプリング | B2910-414190-1 | TEL |
K-069 | ピンブロック | B2310-492518-1 | TEL |
K-070 | ステーカラー(T1.5) | B2910-414689-1 | TEL |
K-071 | モジュールプレート(M-R) | 1910-429459-11 | TEL |
K-072 | ストッパー | B2910-414188-1 | TEL |
K-073 | STOPPER(160-15) | 1910-432250-11 | TEL |
K-074 | チップホルダー(A) | TIP, HOLDER SIDE RINSE (A) | TEL |
K-075 | BLOCK.PIN | B2910-414700-4 | TEL |
K-076 | ステーブロック | B2310-492517-1 | TEL |
K-077 | ステージピン | B21910-417626-11 | TEL |
K-078 | ステージピン(S23) | B2910-414187-2 | TEL |
K-079 | チューブ継手 | IN-233-393 | SMC |
K-080 | カラー | 310-490510-1 | TEL |
K-081 | チューブ継手 | M-5H-4 | TEL |
K-082 | ウチカップ(MK-8 6") | 1310-290882-13 | 伊澤製作所 |
K-085 | カップ | ***** | ***** |
K-087 | カップ | No.2 3319 | TEL |
K-088 | DEVリングカップ | 1910-423213-12 | TEL |
K-089 | DEVリングカップ | ***** | TEL |
K-090 | DEVリングカップ | ***** | TEL |
K-091 | DEVリングカップ | ***** | TEL |
K-092 | DUMMY DISPENSE PANEL ASSY | 386-439482-3 | TEL |
K-093 | MK-7,8 SPIN SIDE RINSE U/D ..SENSOR ASSY | 1386-451849-14 | TEL |
K-094 | エアオペバルブ | F-AVP125-C-1W-X1 | KOGANEI |
K-098 | エアシリンダー | CQ2B25-J0616-20 | SMC |
K-101 | エアシリンダー | CQ2B25-J0616-20 | SMC |
K-102 | SCR L-ARM MOTOR ASSY | PK543BW1-H50 | Orientalmotor |
K-103 | 2 OF Filter | A2AY000K1 | 日本MYKROLIS |
K-112 | フィルター | CWFG OS1 S3 | 日本MILLIPORE |
K-115 | キャップ | P02484J | 日本MILLIPORE |
K-119 | スピンチャック | (Φ80)-CP | ***** |
K-120 | 電磁弁マニホールドASSY | 012-012292-1 | KOGANEI |
K-123 | FITTING TUBE | NF(028-000047-1) | TEL |
K-124 | FITTING TUBE | M-5HL-4(028-003338-1) | TEL |
K-125 | SPEED CONTROLLER | SC-M5-F-X2 | TEL |
K-126 | SPEED CONTROLLER | SC-M5-L-X1 | TEL |
K-127 | FITTING TUBE | S-U-W2YB | 日本ピラー工業 |
K-128 | メカチャック固定ピン | 1940-400071-12 | TEL |
K-130 | パーフロロゴム Oリング | PF S-4 BLK | ニチアス |
K-131 | FITTING RESIN | S-4B | TEL |
K-132 | SENSOR,LASER (INFRARED SENSOR) | Q-11-R | Quantex |
K-133 | CLAMP | CT(1310-496959-14) | TEL |
K-134 | CABLE, AIR VELOCITY | 10M TH-12 | TEL |
K-135 | IF X MOTOR ASSY | T212-06301-0 | TEL |
K-136 | 8 PINCETTE 6" | 1985-425512-13 | TEL |
K-139 | AIR FLOW TRANSOUCER | MODEL 6332D | KANOMAX |
K-140 | BODY(PVA) | 1910-442475-11 | ***** |
K-141 | O-RING SILICON RED | AS568-012 | TEL |
K-142 | I/F SHAFT ASSEMBLY | 310-491617-1 | TEL |
K-143 | VALVE | AMDSZO-X2 | CDK |
K-144 | 放電管式表示灯 | LMH-162KN(AC110V) | 坂詰製作所 |
K-145 | COUPLER PIPE | 310-493792-1 | ***** |
K-146 | 樹脂形放電管表示灯 Φ7 MOLD TYPE | LMH-7FJR(AC220V) | 坂詰製作所 |
K-147 | 予備ランプ・ヒューズ | ***** | ***** |
K-148 | REGULATOR | XT13-397-B 0-7KG/CM2 | SMC |
K-149 | エアオペバルブ | AMDZ1-X1 | CKD |
K-150 | GREASE | G-331 30G | TEL |
K-151 | DRAFTMASTER | MODEL6311 | KANOMAX |
K-152 | SPACER (0.1) | 1310-497583-12 | ***** |
K-153 | NOZZLE BODY (6") | 1910-319674-13 | TEL |
K-154 | 78MAP SENSOR(6") +AMP BRACKET..(ASSY) | 1987-423284-11 | TEL |
K-155 | WEE 半球レンズ | HLL302T1 | TEL |
K-156 | SENSOR CABLE | D6017-0 No. 18 | TEL |
K-157 | BEARING | SS-6800ZZ (SCR W BEARING) | TEL |
K-158 | COVER PAN | 1910-418882-12 | TEL |
K-159 | PROTECTOR, S/COVER, 2ND | D41910-353624-11 (1910-353624-11) | TEL |
K-160 | シリンダー | CJ2B10S-E5969-30 | SMC |
K-161 | REGULATOR DC24V | EV0100-0M5-C13 | CKD |
K-162 | エアシリンダー | XCA-8-5-FL-188232 | CKD |
K-163 | BALL SLIDE UNIT | BSPG1225SL | IKO |
K-167 | エアシリンダー | CS-PBDA 16X60-A | KOGANEI |
K-168 | キーボード SYSTEM INPUT PANEL | FC-9801-KB3 | NEC |
K-169 | FDD | HB-317-A1203 | NEC |
K-170 | ロボット | CR1327WD | KOGANEI |
K-171 | ロボット | CR1808W | KOGANEI |
K-172 | IF/ アームケーブル ASSY | ***** | ***** |
K-173 | Xドライバー | PMM-BD-5702-4 | SANYO DENKI |
K-174 | マップターミナルボード | 381-639332-1 | TEL |
K-175 | ステッピングモーター | 103H7522-70E3 | SANYO DENKI |
K-177 | I/F Y MOTOR ASSY | OELCO-MOLEX6J | TEL |
K-179 | REDUCING TUBE | 0-30 2P(1910-427477-11) | TEL |
K-180 | REDUCING TUBE | 24G 2P(1910-425440-11) | ***** |
K-181 | PINCETTE PIECE | 5P | ***** |
K-182 | PINCETTE | ***** | ***** |
K-183 | BOARD ASSY(UNIT) | MODEL300 MODEL330 PI-301A | TEL |
K-333 | WEFER SUPPORT (PLASTIC) POLYIMID | ポリィミドZ | SOKUDO |
K-334 | 圧力センサー | UPS-50 | CKD |
K-335-1 | DFAベント用バルブ | DFA-V230-4K(カルレッツ) | DNS |
K-335-2 | TUBE INNER SLEEVE(SUS) | 4INS-S-LR | DNS |
K-336 | CERAMIC BALL,FOR BAKE UNIT | 3/32インチ (2.38ハイ) | DNS |
K-337 | MOLYBDENUM GREASE | 2硫化モリブデン (10G入り) | DNS |
K-339 | KQ2 ワンタッチ継手エルボユニオン | KQ2L07-01S(KQA20) | SMC |
K-340 | KQB2 金属ワンタッチ管継手 エルボユニオン | TJ-0425 (TBA07) | SMC |
K-341 | NOZZLE | NEV PFA<SC> | DNS |
K-342 | カップラー | ・78 KL NPT1/8 304 ・73 KL NPT1/4 304 | NITTO KOHKI |
K-343-1 | 電磁弁 (パッキンセット) サブベース配管 5ポート (シングルソレノイド) | A040-4E1-34W (DC24V) | KOGANEI |
K-343-2 | 電磁弁 (パッキンセット) サブベース配管 5ポート (シングルソレノイド) | A040E1-34W (DC24V) | KOGANEI |
K-344 | インターフェイスC用電磁弁 サブベース配管 5ポート (ダブルソレノイド) | A040-4E2-34W (DC24V) | KOGANEI |
K-345 | INTERFACE BOX | CEEI-0012 | DNS |
K-346 | 薬液用エアオペレイトバルブ | AMD01-X2D-0 | CKD |
K-347 | SPIN CHUCK, OD70-MM S6HT-1034 | 2F3-89962-(3Fテフロン) | DNS |
K-348 | VACUUM CHUCK | 2F4-81324-(CTF) | DNS |
K-349 | Oリング | B-36 | DNS |
K-350 | Oリング | B-33 | DNS |
K-351 | Oリング | C-12 | DNS |
K-352 | Oリング | C-8 | DNS |
K-353 | Oリング | B-34 | DNS |
K-354 | Oリング | B-35 | DNS |
K-355 | PNEUMATIC OPERATE VALVE | AMD11-X-5D-0 | CKD |
K-356 | Hc加圧ユニット用エアー弁 | FPR-71-6.35-2(SUS316L) | フジキン |
K-357 | ウエハサーチセンサーアンプ (ボリウム式ビームセンサ[アンプ分離] ) | SS-A5 | SUNX |
K-358 | 耐熱性無機接着剤 | アロンセラミックE(150g) | TOAGOSEI |
K-359 | PNEUM-CLEAN VALVE | PMDS-1.6C20UFA | TAKASAGO |
K-360 | 炉体位置固定用電磁弁 | 113-4E2-PLL(24VDC) | KOGANEI |
K-361 | 薬液用サックバックバルブ PNEUMATIC VALVE | AMDSZ0-X0030 | CKD |
K-365 | 石英ボード | ***** | DNS |
K-366 | K型熱電対 | ***** | Wintex |
K-367 | WAFER GUIDE (PLASTIC) POLYMIDE ウエハガイド6” 低接触 | 2F485088 | SOKUDO |
K-368 | デジタル圧力センサ | DPX-200 | SUNX |
K-369 | 超小型近接センサ | GS-14T | SUNX |
K-370 | 超小型近接センサ | GA-2D | SUNX |
K-371 | スイッチングパワーサプライ | S8VM-01512 | OMRON |
K-372 | FX01ファン | 109S075UL | SANYO DENKI |
K-373-1 | ポロコンポンプ 1500シリーズ | 1504A | Nippon oil Pump |
K-373-2 | ポロコンポンプ 1500シリーズ | 1504A | Nippon oil Pump |
K-374 | 蛍光X線メッシュBウィンドウ | 5771W8 | Rigaku |
K-375 | 表示灯パイロットランプ | TS10-12 | u-bon |
K-380 | スイッチングパワーサプライ | S8VM-01512 | OMRON |